FD-9104XA 陶瓷研磨機(jī)

應(yīng)用范圍:
本設(shè)備主要用于藍(lán)寶石襯底、藍(lán)寶石外延片、硅片、陶瓷片、石英晶體、碳化硅、鍺片以及其他半導(dǎo)體材料的單面精密研磨。

設(shè)備原理及特點(diǎn):
1、本設(shè)備為單面精密研磨設(shè)備，采用先進(jìn)的機(jī)械結(jié)構(gòu)和多種先進(jìn)控制方法，研磨加工效率高，運(yùn)行穩(wěn)定。
2、整機(jī)采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，設(shè)備參數(shù)設(shè)置和操作簡單方便，系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性高。
3、主電機(jī)采用變頻調(diào)速控制，實(shí)現(xiàn)主機(jī)軟啟動、軟停機(jī)，降低設(shè)備運(yùn)行沖擊，減少工件損傷。
4、工件研磨壓力采用氣缸加壓方式，通過電氣比例閥控制實(shí)現(xiàn)壓力的閉環(huán)控制，保證極高的施壓精度與穩(wěn)定性。

5、上壓盤采用主動驅(qū)動方式，在確保產(chǎn)品研磨速率的前提下保證各工位研磨加工的統(tǒng)一性。
6、研磨盤與上壓盤都設(shè)置了冷卻水冷卻功能，在保證研磨液發(fā)揮最大效率的同時減少研磨盤面的變形。
7、設(shè)備自帶盤面修整機(jī)，盤面修整后可保證0.01mm的盤面平整度。

主要技術(shù)參數(shù)：

設(shè)備圖片：

設(shè)備研磨拋光后的效果：