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最適合藍寶石晶片高精密加工方法都有那些?

來源:http://www.encool.cn/ 日期:2017-12-04 11:06:39 人氣:7906

藍寶石具有硬度高,脆性大,化學(xué)性穩(wěn)定是作為光學(xué)材料的優(yōu)良,但同時也是加工的難點。想要獲得加工表面超光滑的藍寶石,可以采用以下加工方法:

1.水合拋光

水合拋光其原理是:在陶瓷拋光機加工過程中拋光盤與藍寶石表面產(chǎn)生的摩擦,接觸點產(chǎn)生高溫高壓,藍寶石表面的原子呈活性化,利用過熱水蒸汽氣分子和水作用其表面,使之在界面上形成水合化學(xué)反應(yīng)層,再借助過熱水的水蒸氣,利用兩者的摩擦力去除藍寶石表面的水合層,從而達到超精密加工表面。是一種利用工件在界面生成水化學(xué)反應(yīng)的拋光方法。在整個加工過程中沒有使用磨料與拋光液,從而避免了工件產(chǎn)生表面劃傷的現(xiàn)象。整個加工過程比較綠色環(huán)保。

2.激光拋光

激光拋光藍寶石的原理是:通過激光與藍寶石的熱作用與光化學(xué)作用,可以分為冷、熱拋光兩種方法。冷拋光采用短波長激光來化學(xué)分解去除材料,藍寶石表面材料吸收光分子后,表面材料結(jié)構(gòu)會被破壞,從而使表面材料離開本體實現(xiàn)材料的去除。熱拋光一般采用連續(xù)長波長激光,通過融化,蒸發(fā)等方式去除材料表面成分,但其熱溫度梯度大,熱應(yīng)力大容易導(dǎo)致裂紋產(chǎn)生與表面粗糙度大等,比較適合粗拋光。而冷拋光過程其熱應(yīng)力小,很少會產(chǎn)生裂紋適合超精密拋光。

上面只是眾多加工方法其中最為合適的兩種,未來的研磨行業(yè)朝節(jié)能環(huán)保方向發(fā)展是必然的趨勢。

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